硅鉬棒在高溫氧化氣氛下,元件的表面生成一層致密的石英（SiO2）保護層以防止MoSi2繼續氧化。當硅鉬棒溫度大于1700℃，熔點為1710℃的SiO2保護層熔融,由于表面張力的作用,SiO2熔聚成滴,而失去保護作用。元件在氧化氣氛下,再繼續使用時,SiO2保護層重新生成。
必須指出的是硅鉬棒電熱元件不宜在400~700℃范圍內長時間使用，否則元件會因低溫的強烈氧化作用而 粉化。
硅鉬棒是各類高溫管式爐的常用發熱元件，廣泛應用于冶金、玻璃、陶瓷、磁性材料、耐火材料、晶體、電子元器件、窯爐制造等領域、工業高溫爐的加熱元件,是產品高溫燒結時必備的理想發熱元件。
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